簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "鄭逸琳".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="化學品供應系統"


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    應用灰關聯分析於故障診斷輔助系統-以化學品供應系統為例
    • 自動化及控制研究所 /99/ 碩士
    • 研究生: 葉啟達 指導教授: 蔡明忠
    • 目前半導體廠之化學品供應系統的故障診斷方式通常係,工程師依據設備之警報訊息及利用本身之維修經驗進行診斷。然而人員流動率高,有經驗者培養不易,經常發生故障排除失誤或延誤的情況。本研究針對常用之化學品供…
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